目前生產(chǎn)高純度難熔金屬部件的工藝,例如由以下材料制成的板材鉭和鉭合金(用作濺射靶材、管坯、爐部件等),包括粉末和鑄錠冶金。鑄錠冶金過程從選擇和混合合適的粉末、壓制成棒和燒結(jié)開始。電子束或等離子或電弧爐用于熔化棒材并將其冷卻成錠。熔化可以分多個(gè)步驟進(jìn)行。電子束熔化和重熔去除雜質(zhì)以產(chǎn)生基本純凈的鉭錠。純度 99.9%鉭常規(guī)實(shí)現(xiàn)。鑄錠經(jīng)過熱機(jī)械加工,并根據(jù)需要進(jìn)一步冷加工或熱加工(或冷加工并進(jìn)行中間退火),以生產(chǎn)所需的形狀,例如板、片、棒或加工零件(半球、半球、圓錐、碟形板、杯) 、盒子等)。部件也可以直接從鑄錠 3 加工而成。
整個(gè)過程相對緩慢,最終產(chǎn)量約為 40% 至 60%。燒結(jié)過程消耗大量的爐時(shí)間,但需要在棒材中提供足夠的機(jī)械強(qiáng)度,并且是難熔金屬粉末的初步脫氧步驟,例如鉭. 棒材通常在高真空下進(jìn)行電子束熔化以去除化學(xué)雜質(zhì)。電子束熔化過程也可能消耗大量的熔爐時(shí)間和功率,例如三個(gè) 105 千瓦的電子束槍 8 到 16 小時(shí)。通常需要重熔,這也消耗大量的熔爐時(shí)間和功率,例如四個(gè) 150 千瓦的電子束槍 8 到 16 小時(shí)。
激光增材制造 (LAM) 是一種直接沉積工藝,它使用高功率激光和送粉系統(tǒng)從金屬粉末中生產(chǎn)出復(fù)雜的三維組件。高功率激光和多軸定位系統(tǒng)直接從 CAD 文件工作,以使用合適的金屬粉末構(gòu)建組件。這個(gè)過程類似于傳統(tǒng)的快速成型技術(shù),例如立體光刻和選擇性激光燒結(jié) (SLS) 以及激光焊接。激光焊接被開發(fā)用于連接兩個(gè)組件或制造與組件集成的物品。然而,完全致密的金屬部件只能通過鑄造或 HIP'ing(熱等靜壓)等額外步驟來制造。這種激光工藝已被開發(fā)用于制造用于航空航天工業(yè)的近凈形鈦部件。
此外,高溫材料的濺射靶材,如鉭以及用于集成電路制造和其他電氣、磁性和光學(xué)產(chǎn)品制造的其他難熔金屬(Ta、Nb、Ti、Mo、Zr、金屬和合金;氫化物、氮化物和其他化合物)通常以不均勻的方式腐蝕在濺射過程中,會(huì)在靶材的操作側(cè)形成類似溝槽的跑道。為了防止任何基材污染或靶后冷卻液的災(zāi)難性滲漏,靶通常在難熔濺射金屬被穿透之前就停止使用,僅在一小部分完成后就需要新的靶。濺射金屬已被消耗。濺射靶材的主要部分只能以廢品價(jià)格轉(zhuǎn)售或難以回收,除此之外回收.
因此,需要對濺射靶材的難熔金屬進(jìn)行再生處理,以消除在僅使用一小部分靶材后回收整個(gè)靶材的需要。貴金屬回收一個(gè)目的是提供一種用于難熔金屬及其合金的激光加工方法,該方法產(chǎn)生完全致密的沉積物,該沉積物可以是平面的或彎曲的,其宏觀和微觀機(jī)械性能至少等同于傳統(tǒng)的熔化、固結(jié)、軋制和退火零件。
通過凈形或近凈形制造來提高產(chǎn)量回收率并以其他方式減少制造時(shí)間和成本。一個(gè)目的是減少回收難熔金屬零件的成本,例如鉭用于濺射靶材的板,包括它們的背板。又一個(gè)目的是減少將難熔金屬部件(例如濺射靶)從使用中移除和使其恢復(fù)使用之間的循環(huán)時(shí)間將被縮短。
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