在將廢濺射靶材粉碎后再進行回收處理時，在粉碎過程中不可避免地會混入大量雜質，難以有效去除混入的雜質，具有經濟優勢。存在無法在維持上述狀態的同時應對高純度靶材的再生的問題。通過經濟的方法將靶材中混入的成分元素相互分離，去除靶材使用和回收處理中不可避免地混入的雜質，去除作為有價金屬元素的鉑族元素。回收再生為高純度金屬粉末。以濺射后的高純度處理靶為原料，制造均勻且高純度且微細結構的粉末材料。提供一種使用粉末材料來制造靶材的方法，該粉末材料可以通過將所獲得的金屬粉末用作材料來低成本地制造，即可以回收利用。

  通過機械粉碎獲得的純度降低的粉碎材料和粉末在熔鹽中氯化，然后選擇性地還原生成的金屬氯化物，從而獲得高熔點金屬和貴金屬。我們發現可以獲得高純度狀態的粉末。

  通過在熔融鹽中氯化含有鉑族元素金屬的濺射靶廢料(廢料)并選擇性地還原要回收的金屬氯化物而包含高純度鉑族元素金屬的粉末。在經濟方面可以有效且有利地回收。Ru粉末等鉑族元素金屬粉末的制造方法，可以通過簡單的操作得到高純度Ru粉末等鉑族元素金屬粉末。不需要使用昂貴的試劑等，是經濟的高純度Ru粉末等高純度鉑族金屬粉末的制造方法，因此有用性極高。鉑族元素金屬粉末如Ru粉末可以具有優異的物理性能，例如使用方便的粒徑，有利于生產高純度和高密度的靶材，可廣泛用于應用程序。

  從廢棄濺射靶材中回收貴金屬的方法以濺射后的高純度廢棄靶材為起始原料，制備高純度、微細結構且均勻的粉末原料。提供了一種制造方法和使用該制造方法制造靶材的方法。鉑族元素金屬粉末的制造方法中，將含有鉑族元素的廢料(廢料)在熔融鹽中，特別是在熔融鹽浴中氯化，形成待回收金屬的氯化物，將得到的金屬氯化物進行還原處理，得到高純度金屬粉末。根據本發明的技術，提供了一種循環利用技術，其中有用的材料可以以經濟上有利的方式從廢物中獲得，并且容易且容易地獲得，并且可以通過簡單的設備構造和制造過程獲得。

  在一個典型的實施例中，由于價格和回收期的問題，大量用于硬盤制造階段濺射的廢靶材被儲存和儲存。濺射釕的靶材包括純釕和釕-鉻合金，釕-鉻合金中添加Cr作為稀釋劑以降低成本。數量上，有很多純釕。這種靶材是通過燒結法生產的，需要從中獲得可再利用的粉末。特別是在釕的情況下，需要得到99.5％以上的純度。Ru是具有極高熔點(2330°C)的貴金屬，它不溶于王水，估計用鉑這樣的水溶液處理是極其困難的。因此，設想用熔融鹽氯化并進一步減少所獲得的氯化物。

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